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X射線鍍層測(cè)厚儀實(shí)現(xiàn)微小光束的高靈敏度，通過(guò)微小準(zhǔn)直器提高了膜厚測(cè)量精度。鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2。另外，針對(duì)檢測(cè)器的特性開發(fā)了新的EP法，X射線鍍層測(cè)厚儀可進(jìn)行無(wú)標(biāo)樣測(cè)量。測(cè)量結(jié)果可一鍵生成報(bào)告書，簡(jiǎn)單方便。

新薄膜EP法    

    減少檢量線制作的繁瑣程度、實(shí)現(xiàn)了設(shè)定測(cè)量條件的簡(jiǎn)易化；

    無(wú)標(biāo)樣測(cè)量方法可進(jìn)行zui多5層的膜厚測(cè)量；

自動(dòng)對(duì)焦功能和距離修正功能    

    凹凸落差的樣品可通過(guò)薄膜EP法做成的相同測(cè)定條件進(jìn)行測(cè)量；

靈敏度提高

    鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2；

生成報(bào)告功能

    一鍵生成測(cè)量報(bào)告書；

 

廣域樣品觀察

X射線鍍層測(cè)厚儀對(duì)測(cè)量平臺(tái)（250mm*200mm）上放置的樣品拍攝一張靜態(tài)畫面后，可在獲取的廣域觀察圖像上狹域的觀察位置。由此，可大幅減少多數(shù)測(cè)量點(diǎn)位置的選取時(shí)間，以及在圖像上難以尋找的特定點(diǎn)位置的選定時(shí)間。

廣域圖像觀察    輕松定位；

 

自動(dòng)對(duì)焦功能 自動(dòng)接近功能

在X射線鍍層測(cè)厚儀樣品臺(tái)上放置各種高度的樣品時(shí)，只要高低差在80mm范圍內(nèi)，即可在3秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)焦被測(cè)樣品。由此進(jìn)一步提高定位操作的便捷性。

自動(dòng)對(duì)焦功能    簡(jiǎn)便的攝像頭對(duì)焦；

自動(dòng)接近功能    位置的對(duì)焦。